Il prototipo del filtro dell'aria è un dispositivo di protezione respiratoria che le persone utilizzano per proteggere la propria respirazione. Secondo i documenti, già nel I secolo a Roma, le persone usavano una maschera fatta di canapa per proteggersi durante la purificazione dal mercurio. Da allora, anche i filtri dell’aria hanno fatto progressi, ma vengono utilizzati principalmente come dispositivi di protezione respiratoria in alcuni settori pericolosi, come la produzione di sostanze chimiche pericolose. Nel 1827 Brown scoprì le leggi del movimento delle minuscole particelle e le persone hanno una migliore comprensione del meccanismo di filtraggio dell'aria.
Il rapido sviluppo dei filtri dell'aria è strettamente correlato allo sviluppo dell'industria militare e dell'industria elettronica. Durante la Prima Guerra Mondiale, a causa dell'uso di diversi agenti chimici, vennero alla luce le maschere antigas militari che utilizzavano carta da filtro in fibra di amianto come strato filtrante per il fumo. Il materiale filtrante in fibra di vetro è stato brevettato negli Stati Uniti nell'ottobre del 1940. Negli anni '50, gli Stati Uniti hanno condotto una ricerca approfondita-sul processo di produzione della carta da filtro in fibra di vetro, che ha migliorato e sviluppato il filtro dell'aria. Negli anni '60 uscirono i filtri HEPA; negli anni '70, i filtri HEPA utilizzavano carta filtrante in micro-fibra di vetro come mezzo filtrante, l'efficienza di filtrazione delle particelle con una dimensione delle particelle di 013 micron raggiungeva il 99,9998%. Dagli anni '80, con l'emergere di nuovi metodi di test, una migliore valutazione dell'uso e maggiori requisiti per le prestazioni di filtrazione, si è scoperto che i filtri HEPA presentano seri problemi, quindi sono stati prodotti filtri ULPA-con prestazioni più elevate. I paesi stanno ancora lavorando sulla ricerca e si stima che presto saranno disponibili filtri dell’aria più avanzati.